Halfgeleiderindustrie

We bieden uiterst nauwkeurige systemen voor het meten van procesparameters.

De belangrijkste toepassingsgebieden zijn:

Diffusieovens
MBE-machines
Kristalgroei
CVD (chemische dampafzetting)
MBE (moleculaire bundelepitaxie)
Milieubeheer

We bieden uiterst nauwkeurige systemen voor het meten van procesparameters met een zeer stabiele invoer voor een goede procesregeling op lange termijn en herhaalbaarheid.

De ingebouwde mogelijkheid om proceswaarden op afstand door te geven aan informatiebeheersystemen brengt het beheer op een hoger niveau, wat resulteert in een hoger rendement en een betere productkwaliteit.